XPS (주사형 광전자 분광 분석장치)
| 상태 | 사용가능 |
|---|---|
| 위치 | 9호관 213호 |
| 제조사 | ULVAC-PHI 5000 VersaProbe, Phi(Φ) |
| 모델명 | PHI 5000 Versa Probe Ⅱ |
| 담당자 | 나용운, 김인애 |
용도
기기사양
▶Specification
1. Charge Neutralization System
1) Methode : Dual beam charge neutralization or equivalent methode
2) Analysis for insulating samples
2. Minimum X-ray beam size : 10㎛
3. XPS Energy Resolution : 0.50eV FWHM for Ag 3d 5/2 peak
4. XPS Elemental Sensitivity vs Resolution on Ag Sample
5. Max Current of Ar Sputter Gun :≥ 5.0 ㎂at 5㎸
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<인천대학교 교내 사용자>
기본 55,000원/시간
Depth Profile 66,000원/시간
< 외부 업체 및 외부 대학 사용자>
기본 88,000원/시료
Depth Profile 132,000원/시간
* 부가세(10%) 포함 가격입니다.
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