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상태	사용가능
위치	9호관 223호
제조사	Bruker
모델명	DEKTAK XT-E
담당자	신장식, 나용운

용도

Surface profiler는 nano meter ~ um 단위의 코팅 또는 필름 막의 두께를 측정할 뿐만 아니라, 표면의 거칠기, Waviness를 측정분석이 가능하다.

기기사양

▶ Model: Bruker DEKTAK XT-E

▶ Specification

1. Vertical resolution: 1Å max. (at 6.55um range)

2. Vertical measurement range : 20 nm ~ 1000um (1mm)

3. Scan length range: 50um ~ 55mm

4. Data points per scan: 120000 maximum

5. Step height repeatability: 5Å 1sigma on 1um step

6. Stylus force: 1mg to 15mg

7. Stylus size: 1.25um radius

8. Sample max size :4-inch Square Block

9. Scan speed : 2㎛/sec≤X≤200㎛/sec

10. Automatic data leveling/Software-assisted stage leveling

응용분야

반도체, 박막등

2019년 01

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<인천대학교 교내 사용자>
기본　5,500원/ 30 분

<외부 업체 및 외부 대학 사용자>
기본　11,000원/ 30분

* 부가세(10%) 포함 가격입니다.

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