기기예약

FE-SEM/EDS_7001F (열 전계방출형 주사 전자현미경)

상태 사용가능
위치 호 실 : 222호
제조사 JEOL
모델명 JSM-7001F
담당자 김인애, 원유정

용도

▶ 주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다. 현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다. 이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.

기기사양

2011년 12월도입
▶ Model : JEOL JSM-7001F
▶ Specification
·Resolution : 1.2㎚(30㎸), 3.0㎚(1㎸)
·Magnification : x10 ~ x1,000,000
·Accelerating voltage : 0.2 to 30㎸
·Probe current : 10-12 ~ 2 x 10-7 A
·Electron Gun :Schottky type field emission gun
·Objective lens(O.L) : Super conical out lens.
·Specimen Exchange Chamber : 5aixs motor control
·Electreon Detectors : Secondary electron detector

·Retractable backscattered electron detector

응용분야

▶ 반도체, 물리, 화학
2019 05
   

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<인천대학교 교내 사용자>
기본 36,300원/시간
EDS(Point) 1,100원/point (저장 데이터 기준)
EDS(Mapping/Linescan) 2,200원/point (저장 데이터 기준)
Coating 11,000원/건

<외부 업체 및 외부 대학 사용자>
기본 72,6000원/시간
EDS(Point) 2,200원/point (저장 데이터 기준)
EDS(Mapping/Linescan) 4,400원/point (저장 데이터 기준)
Coating 22,000원/건

* 프로그램만 사용 시 기본료의 50% 가격 적용
* 부가세(10%) 포함 가격입니다.

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