기기예약

FE-SEM/EDS_7800F (열 전계방출형 주사 전자현미경)

상태 사용가능
위치 9호관 213호
제조사 JEOL
모델명 JSM-7800F
담당자 김인애, 원유정

용도

▶ 주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다. 현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다. 이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.

기기사양

1.     Resolution : 0.8nm(15 KV), 1.2nm(1 KV)

2.     Accelerating voltage : 0.01 to 30kV (SEM mode & GB mode)

3.     Probe current : A few pA to 200nA

4.     Electron Gun : In lens Schottky field-emission gun

5.     Objective lens(O.L) : Conical objective lens or Super Hybrid lens.

6.     Electron-detection system

1) Through The Lens System for Low kV Observation

      2) Secondary-electron image

         Upper Electron Detector with low energy electron filter

         Lower Electron Detector

      3) Backscattered-electron image

      4) Image Mode
         LED, UES, USD, BED-C

응용분야

▶ 반도체, 물리, 화학
2019 01
  

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<인천대학교 교내 사용자>
기본 33,000원/시간
EDS(Point) 1,100원/point (저장 데이터 기준)
EDS(Mapping/Linescan) 2,200원/point (저장 데이터 기준)
Coating 11,000원/건

<외부 업체 및 외부 대학 사용자>
기본 66,000원/시간
EDS(Point) 2,200원/point (저장 데이터 기준)
EDS(Mapping/Linescan) 4,400원/point (저장 데이터 기준)
Coating 22,000원/건

* 프로그램만 사용 시 기본료의 50% 가격 적용
* 부가세(10%) 포함 가격입니다.

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